穆勒矩陣測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)精確調(diào)控偏振元件并采集光強(qiáng)數(shù)據(jù),結(jié)合數(shù)學(xué)算法提取目標(biāo)樣品的完整偏振特性,其核心測(cè)量方法可分為旋轉(zhuǎn)元件法和調(diào)制法兩大類,具體如下: 一、旋轉(zhuǎn)元件法:通過(guò)機(jī)械旋轉(zhuǎn)偏振元件獲取多組數(shù)據(jù)
雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器法
原理:利用兩個(gè)旋轉(zhuǎn)的補(bǔ)償器(如波片)連續(xù)改變?nèi)肷涔獾钠駪B(tài),同時(shí)通過(guò)檢偏器采集不同角度下的光強(qiáng)信號(hào)。
步驟:
起偏器和檢偏器保持固定方向(如水平透光方向)。
兩個(gè)補(bǔ)償器以步進(jìn)方式旋轉(zhuǎn),每旋轉(zhuǎn)一定角度記錄一次探測(cè)光強(qiáng)。
通過(guò)線性最小二乘擬合,從多組光強(qiáng)數(shù)據(jù)中解算出樣品的16個(gè)穆勒矩陣元素。
特點(diǎn):測(cè)量速度快、精度高,適用于動(dòng)態(tài)過(guò)程監(jiān)測(cè),但需高精度電機(jī)控制旋轉(zhuǎn)角度。
偏振片/波片旋轉(zhuǎn)法
原理:手動(dòng)或電動(dòng)旋轉(zhuǎn)偏振片或波片,改變?nèi)肷涔獾钠駪B(tài),通過(guò)檢偏系統(tǒng)采集散射光強(qiáng)。
步驟:
旋轉(zhuǎn)偏振片使入射光處于特定偏振態(tài)(如線偏振、圓偏振)。
入射光經(jīng)樣品散射后,通過(guò)檢偏系統(tǒng)(偏振片+波片)分析偏振態(tài)。
CCD探測(cè)器采集光強(qiáng),結(jié)合旋轉(zhuǎn)角度信息回算穆勒矩陣。
特點(diǎn):設(shè)備簡(jiǎn)單、成本低,但測(cè)量速度較慢,適合靜態(tài)樣品分析。
二、調(diào)制法:通過(guò)電光/光彈調(diào)制器快速改變偏振態(tài)
光彈調(diào)制器(PEM)技術(shù)
原理:利用光彈調(diào)制器的高頻振動(dòng)產(chǎn)生相位延遲,快速調(diào)制入射光的偏振態(tài),結(jié)合傅里葉分析提取穆勒矩陣元素。
步驟:
氦氖激光束經(jīng)偏振化后,由前兩個(gè)PEM調(diào)制。
調(diào)制光通過(guò)樣品,再經(jīng)另外兩個(gè)PEM和檢偏器。
光電探測(cè)器采集信號(hào),通過(guò)傅里葉分析解算出16個(gè)穆勒矩陣元素及完整偏振特性。
特點(diǎn):
高速:調(diào)制頻率達(dá)幾十千赫,可在幾分之一秒內(nèi)完成測(cè)量。
高靈敏度:可檢測(cè)亞納米級(jí)線性和圓形雙折射,以及亞百分比級(jí)的線性/圓形二次衰減。
無(wú)機(jī)械運(yùn)動(dòng):光學(xué)系統(tǒng)中無(wú)移動(dòng)部件,穩(wěn)定性高。
應(yīng)用:Hinds Instruments的150XT穆勒偏振計(jì)采用此技術(shù),適用于科研、工業(yè)測(cè)量及制造業(yè)質(zhì)檢。
電光調(diào)制法
原理:利用電光效應(yīng)(如鈮酸鋰晶體)產(chǎn)生相位延遲,通過(guò)電壓控制調(diào)制入射光偏振態(tài)。
特點(diǎn):調(diào)制速度極快(可達(dá)MHz級(jí)),但設(shè)備復(fù)雜度高,成本較高。
三、四態(tài)穆勒矩陣法:行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)方法(IL-PDL掃頻測(cè)量)
原理:針對(duì)波分復(fù)用(WDM)器件,使用偏振狀態(tài)發(fā)生器或偏振控制器產(chǎn)生4種不同偏振態(tài),連續(xù)測(cè)量器件在這些狀態(tài)下的插損(IL)和偏振相關(guān)損耗(PDL)。
步驟:
偏振控制器生成4種偏振態(tài)(如線偏振、圓偏振、橢圓偏振)。
可調(diào)諧激光器掃描波長(zhǎng)范圍,記錄每種偏振態(tài)下的光強(qiáng)。
通過(guò)穆勒矩陣計(jì)算,解算出IL和PDL隨波長(zhǎng)的變化。
特點(diǎn):
高分辨率:可實(shí)現(xiàn)皮米級(jí)波長(zhǎng)分辨率。
快速測(cè)量:同時(shí)保持高速掃描(如100 nm/s)。
可擴(kuò)展性:適用于少量輸出端口或100多個(gè)輸出端口的器件。
應(yīng)用:EXFO的CTP10和CT440器件測(cè)試儀采用此方法,用于WDM濾波器、復(fù)用器等器件的測(cè)試。
四、測(cè)量方法對(duì)比與選擇建議
方法速度精度設(shè)備復(fù)雜度適用場(chǎng)景
雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器法中等高中等動(dòng)態(tài)過(guò)程監(jiān)測(cè)、高精度偏振分析
PEM調(diào)制法極快極高高科研、工業(yè)高速測(cè)量、納米結(jié)構(gòu)檢測(cè)
四態(tài)穆勒矩陣法快高中等WDM器件IL-PDL掃頻測(cè)量
偏振片/波片旋轉(zhuǎn)法慢中等低靜態(tài)樣品分析、低成本應(yīng)用
推薦選擇:
若需高速、高精度測(cè)量(如納米結(jié)構(gòu)、生物組織),優(yōu)先選擇PEM調(diào)制法(如Hinds 150XT)。
若需動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)或工業(yè)在線檢測(cè),可選擇雙旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償器法。
若需WDM器件測(cè)試,采用四態(tài)穆勒矩陣法(如EXFO CTP10)。
若預(yù)算有限且測(cè)量靜態(tài)樣品,可選偏振片/波片旋轉(zhuǎn)法。